Kurzfassung: Hochpräzise Messtechnik für die Halbleiterbranche ausgezeichnet Das System PROVE® von Carl Zeiss hat den Thüringer Innovationspreis 2011 in der Kategorie Industrie Material gewonnen. Der Preis wurde am 24. November im Rahmen des Innovations- ...

[Carl Zeiss AG - 25.11.2011] Carl Zeiss gewinnt Thüringer Innovationspreis 2011


Hochpräzise Messtechnik für die Halbleiterbranche ausgezeichnet

Das System PROVE® von Carl Zeiss hat den Thüringer Innovationspreis 2011 in der Kategorie Industrie
Material gewonnen. Der Preis wurde am 24. November im Rahmen des Innovations- tages Thüringen in Erfurt von der Stiftung für Technologie, Innovation und Forschung Thüringen (STIFT) verliehen.

Das Metrologiesystem PROVE®, das in der Halbleitertechnik eingesetzt wird, vermisst Photomasken, um mögliche Positionsfehler von Strukturen zu minimieren. Die fehlerfreie Positionierung der Strukturen ist eine wesentliche Voraussetzung für das Funktionieren von Computerchips. Fast alle in größerer Stückzahl hergestellten Chips werden mit Hilfe eines photolithographischen Verfahrens hergestellt. Photomasken spielen dabei eine wesentliche Rolle, da sie das Chipdesign enthalten. Alle Positionen, Größen und Abstände von den im Design enthaltenen Strukturen sind in den Photomasken vordefiniert. Die Maske als wesentliches Element des Chipherstellungs- prozesses muss deshalb höchsten Qualitäts- ansprüchen genügen.

Mit PROVE® werden Vermessungen mit einer Präzision von unter 0,5 nm durchgeführt, was der Größe eines mittleren Atomabstands in Festkörpern entspricht (ein Nanometer ist ein millionstel Millimeter). Zum Vergleich: Die Größenverhältnisse bei der Vermessung von Photomasken mit PROVE® entsprechen 5 mm über eine Strecke von 1500 km. In Europa könnte man also theoretisch die geographische Lage eines Gebäudes wie das Brandenburger Tor auf 5 mm genau vermessen. Diese Genauigkeit wird durch eine hochauflösende Optik, ein hoch- präziser Positioniertisch und neuentwickelte Bildauswertungsverfahren ermöglicht.

Die Carl Zeiss Semiconductor Metrology Systems Division (SMS) aus Jena, die das PROVE® entwickelt, fertigt und vertreibt, hat bereits zum zweiten Mal den Thüringer Innovationspreis erhalten. 2007 gewann die SMS den Preis für das Metrologiesystem Phame, das hochauflösende Phasen- und Transmissionsmessungen auf Photomasken vornimmt. Weitere Carl Zeiss Firmen haben den Innovationspreis in den Jahren 2000, 2002 und 2008 gewonnen.

Der Innovationspreis Thüringen wird in diesem Jahr zum 14. Mal für herausragende Innovationen verliehen und steht unter der Schirmherrschaft der Thüringer Ministerpräsidentin Christine Lieberknecht. Er wird in den Kategorien "Tradition mit Zukunft", "Industrie
Material", "Kommuni- kation
Medien" sowie "Licht
Leben" vergeben und ist für alle Kategorien in Summe mit einem Preisgeld von 100.000 Euro dotiert.

Voraussetzung für die Bewerbung ist, dass die Wettbewerbsbeiträge überwiegend in Thüringen entwickelt beziehungsweise gefertigt und erst seit kurzem auf dem Markt eingeführt wurden oder Aussicht auf eine erfolgreiche Etablierung am Markt haben. Die Jury aus unabhängigen und sachverständigen Persönlichkeiten aus Wirtschaft und Wissenschaft entschied in einer nicht öffentlichen Sitzung über die Vergabe des Innovationspreises sowie des Preisgeldes.


Leila Hammad
Carl Zeiss SMS GmbH
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